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光学仪器及设备
DRV-Z1人机工效学全高清FHD裸眼3D变倍观察
美国SONIX超声显微镜ECHO VS
发射扫描电子显微镜ReguluS
扫描电子显微镜FlexSEM 1000
扫描电子显微镜AeroSurf 15
场发射透射电子显微镜HF-3300
透射电子显微镜HT7800系列
球差校正扫描透射电子显微镜HD-2700
离子溅射仪MC1000
场发射扫描电镜热场式SU5000
测量/计量仪器
2D大视场测量显微镜TVM35
高精度光学测量显微镜Hawk Elite
工具测量显微镜Swift Pro Elite
尼康CNC影像测量VMZ-R3020
德国Werth三坐标测量机
Werth台式复合式光学三坐标测量机VideoCheck-IP
Werth台式复合式光学三坐标测量机ScopeCheck
Werth双频白光干涉白点测量传感器WIP
Werth自动寻边的测量机EasyScope 3D man
Werth高精度复合式光学三坐标VideoCheck IP Basic
制样/消解设备
Allied楔形电子显微镜制样夹具
Allied手工样品固定器
Allied自动磨抛机E-PREP 4™ (PH-4I™ )
Allied自动研磨抛光机MetPrep 3™
Allied自动研磨抛光机MetPrep
Allied自动注液机AD-5™
Allied双盘手动磨抛机TwinPrep 5™
Allied手动研磨抛光机MetPrep 1™
Allied手动研磨抛光机M-Prep 5™
Allied基材厚度测量仪X-PREP® VISION™
半导体行业专用仪器
化学开封机Elite Etch Cu ESD 7200
化学芯片开封机Elite Etch Cu 7100
化学芯片开封机Injector 7400
化学芯片开封机Mega Etch 7300
Nisene化学芯片开封机TotalProtect
Nisene化学芯片开封机JetEtch Pro
激光单粒子效应SEE测试仪
Nisene化学芯片开封机CuProtect
Nisene等离子芯片开封机PlasmaEtch
化学芯片开封机Elite Etch 7000
无损检测/无损探伤仪器
Werth计量型CT TomoScope L
Werth计量型CT TomoScope S
Werth计量型CT TomoScope S HA
Werth计量型CT TomoScope XL
Werth计量型CT TomoScope XL NC
Werth计量型CT TomoScope XS
尼康CT扫描工作站XTH450
尼康CT扫描工作站XTH225
尼康CT扫描工作站XTH320 LC
尼康X射线检测站XTV160
其他
布洛维通用硬度计DuraVision G5
洛式硬度计DuraJet G5
全自动显微维氏硬度计DuraScan G5
便携式齿轮洛式硬度计N7
便携式深孔内径硬度计N6P
相关仪表
Aberlink-Trimos关节臂坐标测量机
联系方式 |
产品系列
现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。
通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右。
此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的**性能。
*1
仅限Regulus8240/8230/8220
特色
沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的**性能
与现有机型相比分辨率提高了20%左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2
极低着陆电压下高分辨观察
样品:金颗粒
着陆电压:10 V
超高分辨观察
样品:Pt催化剂
加速电压:30 kV
低加速电压下高分辨EDX分析
样品:Sn球
着陆电压:1.5 kV
*2
仅限Regulus8240/8230/8220
规格
项目 Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240 二次电子分辨率 0.8 nm (加速电压15 kV)
1.1 nm
(着陆电压1 kV)*3
0.7 nm(加速电压 15 kV) 0.9 nm(着陆电压 1 kV)*3
着陆电压 0.1~2 kV 0.01~20 kV 放大倍率 20~1,000,000倍*4 20~2,000,000倍*4 样品台 样品台控制 3轴马达台(可选5轴马达台) 5轴马达驱动 移动范围 X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm R 360° T -5~70° Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm 再现性 - - - ±0.5 μm以下含±0.5 μm *3
减速模式下观察
*4
以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率