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特色
含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
从低真空到大气压(数 Pa~105Pa),可在大范围压力下进行SEM观察
标准搭载ES-Corrector(电子束散射校正)图像改善功能
在真空模式下,除了通常的SEM观察之外,还可进行EDX分析(选配)
主机采用330 mm宽度的小型设计,实现节省空间和高便利性
无需等待抽真空时间,快速实现从搭载样品到观察图像的全过程
概要
大气压观察(图1)
样品设置在标准大气压环境下(105Pa)
配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离,在保持SEM内部真空的同时,可对样品进行电子束照射观察
而且,可通过附带的真空泵在负压下(约103~105Pa)进行观察
低真空观察(图2)
隔膜可拆卸,还可进行低真空SEM观察和EDX分析
搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器
图1:大气压或负压观察时
图2:低真空观察时
规格
项目 | 内容 |
---|---|
电子枪 | 预对中灯丝 |
检测系统 | 高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器 |
加速电压 | 5 kV/15 kV |
倍率 | ×15~×60,000(使用数码变焦时:×240,000) |
观察压力 | 大气压模式(105 Pa)(装有隔膜时) |
负压模式(约103 Pa~105 Pa)(装有隔膜时) | |
低真空模式(数 Pa~数10 Pa)(拆下隔膜时) | |
**样品尺寸 | 直径55 mm |
大小和重量 | 主机:330(W)×687(D)×565(H)mm, 67.0 kg(手动操作台) 控制装置:220(W)×368(D)×235(H)mm, 11.8 kg 隔膜泵:145(W)×256(D)×217(H)mm, 4.5 kg ×2台 |
材料领域
含水再生纤维素纤维的干燥动态观察
样品提供:旭化成株式会社 乙部先生
将浸水的纤维先在40 kPa下缓慢自然蒸发多余水分,然后在大气压下进行了观察。
首先观察到纤维之间的水分蒸发,然后是纤维内部的水分蒸发,并因此纤维本身收缩,*后是整个样品收缩的情景。
根据此观察的结果以及纤维干燥时和含水时的直径测试结果,得出含水时膨胀30%,和含水时的纤维膨胀率。
ZEPTORON PP(聚丙烯纳米纤维)的经时观察
试样提供:Zepto Co., Ltd.
在疏水性优异的此样品中,可看到油渗入纤维内,水分不会渗入,所以可观察到水分在纤维上的情景。
植物领域
花粉
光学显微镜观察后,无需干燥处理即可在大气压下进行SEM观察。
杜鹃花花粉
食品领域
味噌(自家制)
干燥的意大利面
在大气压下观察干燥的意大利面的表面后,在真空中观察同一样品,可观察到表面有大量裂纹。
推测是在真空环境下,样品内部的水分和空气蒸发时将试样表面破坏,即使是干燥的样品,如果想观察本来的形状,通过大气压SEM进行观察是一种有效的方法。
生物领域
大肠杆菌
大肠杆菌经过培养后,用纯水稀释,涂抹在塑料板上,用甲醇固定后进行了观察(无染色)。
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