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光学仪器及设备
DRV-Z1人机工效学全高清FHD裸眼3D变倍观察
美国SONIX超声显微镜ECHO VS
发射扫描电子显微镜ReguluS
扫描电子显微镜FlexSEM 1000
扫描电子显微镜AeroSurf 15
场发射透射电子显微镜HF-3300
透射电子显微镜HT7800系列
球差校正扫描透射电子显微镜HD-2700
离子溅射仪MC1000
场发射扫描电镜热场式SU5000
测量/计量仪器
2D大视场测量显微镜TVM35
高精度光学测量显微镜Hawk Elite
工具测量显微镜Swift Pro Elite
尼康CNC影像测量VMZ-R3020
德国Werth三坐标测量机
Werth台式复合式光学三坐标测量机VideoCheck-IP
Werth台式复合式光学三坐标测量机ScopeCheck
Werth双频白光干涉白点测量传感器WIP
Werth自动寻边的测量机EasyScope 3D man
Werth高精度复合式光学三坐标VideoCheck IP Basic
制样/消解设备
Allied楔形电子显微镜制样夹具
Allied手工样品固定器
Allied自动磨抛机E-PREP 4™ (PH-4I™ )
Allied自动研磨抛光机MetPrep 3™
Allied自动研磨抛光机MetPrep
Allied自动注液机AD-5™
Allied双盘手动磨抛机TwinPrep 5™
Allied手动研磨抛光机MetPrep 1™
Allied手动研磨抛光机M-Prep 5™
Allied基材厚度测量仪X-PREP® VISION™
无损检测/无损探伤仪器
Werth计量型CT TomoScope L
Werth计量型CT TomoScope S
Werth计量型CT TomoScope S HA
Werth计量型CT TomoScope XL
Werth计量型CT TomoScope XL NC
Werth计量型CT TomoScope XS
尼康CT扫描工作站XTH450
尼康CT扫描工作站XTH225
尼康CT扫描工作站XTH320 LC
尼康X射线检测站XTV160
半导体行业专用仪器
化学开封机Elite Etch Cu ESD 7200
化学芯片开封机Elite Etch Cu 7100
化学芯片开封机Injector 7400
化学芯片开封机Mega Etch 7300
Nisene化学芯片开封机TotalProtect
Nisene化学芯片开封机JetEtch Pro
激光单粒子效应SEE测试仪
Nisene化学芯片开封机CuProtect
Nisene等离子芯片开封机PlasmaEtch
化学芯片开封机Elite Etch 7000
其他
布洛维通用硬度计DuraVision G5
洛式硬度计DuraJet G5
全自动显微维氏硬度计DuraScan G5
便携式齿轮洛式硬度计N7
便携式深孔内径硬度计N6P
相关仪表
Aberlink-Trimos关节臂坐标测量机
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产品系列
特色
含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察
从低真空到大气压(数 Pa~105Pa),可在大范围压力下进行SEM观察
标准搭载ES-Corrector(电子束散射校正)图像改善功能
在真空模式下,除了通常的SEM观察之外,还可进行EDX分析(选配)
主机采用330 mm宽度的小型设计,实现节省空间和高便利性
无需等待抽真空时间,快速实现从搭载样品到观察图像的全过程
概要
大气压观察(图1)
样品设置在标准大气压环境下(105Pa)
配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离,在保持SEM内部真空的同时,可对样品进行电子束照射观察
而且,可通过附带的真空泵在负压下(约103~105Pa)进行观察
低真空观察(图2)
隔膜可拆卸,还可进行低真空SEM观察和EDX分析
搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器
图1:大气压或负压观察时
图2:低真空观察时
规格
项目 | 内容 |
---|---|
电子枪 | 预对中灯丝 |
检测系统 | 高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器 |
加速电压 | 5 kV/15 kV |
倍率 | ×15~×60,000(使用数码变焦时:×240,000) |
观察压力 | 大气压模式(105 Pa)(装有隔膜时) |
负压模式(约103 Pa~105 Pa)(装有隔膜时) | |
低真空模式(数 Pa~数10 Pa)(拆下隔膜时) | |
**样品尺寸 | 直径55 mm |
大小和重量 | 主机:330(W)×687(D)×565(H)mm, 67.0 kg(手动操作台) 控制装置:220(W)×368(D)×235(H)mm, 11.8 kg 隔膜泵:145(W)×256(D)×217(H)mm, 4.5 kg ×2台 |
材料领域
含水再生纤维素纤维的干燥动态观察
样品提供:旭化成株式会社 乙部先生
将浸水的纤维先在40 kPa下缓慢自然蒸发多余水分,然后在大气压下进行了观察。
首先观察到纤维之间的水分蒸发,然后是纤维内部的水分蒸发,并因此纤维本身收缩,*后是整个样品收缩的情景。
根据此观察的结果以及纤维干燥时和含水时的直径测试结果,得出含水时膨胀30%,和含水时的纤维膨胀率。
ZEPTORON PP(聚丙烯纳米纤维)的经时观察
试样提供:Zepto Co., Ltd.
在疏水性优异的此样品中,可看到油渗入纤维内,水分不会渗入,所以可观察到水分在纤维上的情景。
植物领域
花粉
光学显微镜观察后,无需干燥处理即可在大气压下进行SEM观察。
杜鹃花花粉
食品领域
味噌(自家制)
干燥的意大利面
在大气压下观察干燥的意大利面的表面后,在真空中观察同一样品,可观察到表面有大量裂纹。
推测是在真空环境下,样品内部的水分和空气蒸发时将试样表面破坏,即使是干燥的样品,如果想观察本来的形状,通过大气压SEM进行观察是一种有效的方法。
生物领域
大肠杆菌
大肠杆菌经过培养后,用纯水稀释,涂抹在塑料板上,用甲醇固定后进行了观察(无染色)。