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尼康CNC影像测量VMZ-R4540
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产品简介

载物台行程:450mm(X)x400mm(Y)x200mm(Z)

应用领域:

适用于中等尺寸零部件和对载物台上的多个工件执行序列测量

Type1~3 : 中型尺寸PCB、冲压钣金件等

Type4/TZ : 300mm晶圆、300mm探针卡等

TypeA : 中型尺寸机械零件、塑料模制件等

类型1、2和3-标准倍率变焦头

Type10.5X~7.5X Type21X~15X Type32X~30X

类型1、2和3使用尼康15X变焦光学系统,具有长工作距离,宽视场(FOV)以及主达0.35的数值孔径。所有标准变焦头都配备LED落射、透射和内部/外部环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光以及具有三种不同斜角照明光,确保清晰呈现模糊的边缘。

类型4和TZ-高倍率变焦头

Type4 4X~60X TypeTZ1X~X7.5/16X~120X

类型4和TZ使用尼康15X和120X变焦光学系统,具有更高的倍率精度和更高的数值孔么(0.46)。类型4配有LED落射、透射和环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光和50度斜角照明光。TZ配有适用于主物镜镜头(16~120x)的落射、透射和暗场照明器,以及适用于辅助物镜镜头(1~7.5X)的LED落射和暗场照明器。

类型A-宽视场变焦头

TypeA0.35X~3.5X

类型使用尼康10X变焦光学系统,具有低部率精度范围内*宽的视场,*长的工作距离和**的数值孔么(0.11),而且它配备了LED落射、透射和环形照明器,提供顶部和斜角照明光。

8段LED内外环形照明器

Type1~3

类型1、2和3配有8段LED内外环形照明器,能够提供**照明条件,清晰呈现模糊的边缘。您可以从8个照明器段的任意方向选反37度、55度、和75度这三个斜角之一,还可以组合使用任意照明器段以及使用任意光强度。

改善不确定度

尼康全新线性编码器ModuRay配有非接触式读取头,有助于提高确定度。

规格

型号

VMZ-R4540

XYZ行程

450X400X200

*小读取单位

0.1微米

被测物**重量

40kg

测量精度 EUX、MPE EUY、MPE

1.2+4L/1000um

EUXY、MPE

2+4L/1000um

Z轴测量精度(激光自动对焦)

1.2+5L/1000um

摄像头

黑白1/3英寸CCD、彩色1/3英寸CCD(选购件)※

※彩色摄头选购件只能与类型1、2和A配合使用。

物镜镜头的工作距离

类型1、2和3

37度斜角时为50mm、55度斜角时为36mm、78度斜角时为10mm

类型4

30mm

类型TZ

使用主物镜镜头时为11mm,使用左侧物镜镜头时为32mm

类型A

未使用激光AF时为73.5mm,使用激光AF时为63mm

倍率和视场

类型1

0.5~7.5X /9.33X7~0.622X0.467mm

类型2

1~15X /4.67X3.5~0.311X0.233mm

类型3

2~30X /2.33X1.75~0.155X0.117mm

类型4

4~60X /1.165X0.875~0.07~0.068

类型TZ

1~120X /4.67X3.5~0.039X0.029mm

类型A

0.35~3.5X /13.3X10~1.33X1mm

自动对焦

类型1、2、3、4和TZ配备TTL激光AF和图像AF

类型A标配图像AF,激光AF作为选购提供

照明器

类型1、2和3

LED落射和透射照明器,8段LED内外环型照明器(内部环形照明器呈37度斜角,外部环形照明器呈55度和78度斜角)

类型A

LED落射和透射照明器,呈18度斜角的8段LED环形照明器

电源

AC 100-240V±10% 50或60HZ

使用电流

5A-2.5A

主机尺寸和工作台

1000X1340X1820mm/约500kg

控制器尺寸

190X450X440mm /约15KG

占地(含工作台上的PC)

2300X1700mm

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